Mikrosystemtechnische Sensorherstellung im Reinraum des Kieler Nanolabors
Am Beispiel eines Unterwasserschallsensors werden wichtige mikrosystemtechnische Prozesse wie Lithographie und Dünnschichtabscheidung anschaulich erklärt.
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Lehrstuhl für Anorganische Funktionsmaterialien
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CAU - Technische Fakultät Kaiserstraße 2, Kiel, Schleswig-Holstein, Deutschland