Mikrosystemtechnische Sensorherstellung im Reinraum des Kieler Nanolabors
CAU - Technische Fakultät Kaiserstraße 2, Kiel, Schleswig-Holstein, DeutschlandAm Beispiel eines Unterwasserschallsensors werden wichtige mikrosystemtechnische Prozesse wie Lithographie und Dünnschichtabscheidung anschaulich erklärt.